Дополнительная информация о статье
"Анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления плавающим зондом"
Загрузить полный текст (PDF)
Дополнительная информация (TXT)
Пристатейные ссылки (BIB)
Метаданные в формате JATS на русском языке (XML)
DOI
https://doi.org/10.33849/2019212
НАЗВАНИЕ СТАТЬИ
Анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления плавающим зондом
СПИСОК АВТОРОВ
Ойлер А.П., Лизякин Г.Д.
СПИСОК АВТОРОВ (С РАСШИФРОВКОЙ)
Ойлер Андрей Павлович, Лизякин Геннадий Дмитриевич
ТОМ
3 |
ГОД
2019 |
СТРАНИЦЫ
63-66 |
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА
Вч разряд; плавающий зонд; потенциал плазмы
АННОТАЦИЯ
В данной работе приводится анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления при помощи плавающего зонда. Анализируется эквивалентная схема измерений, оценивается импеданс слоя объемного заряда вокруг зонда, определяется погрешность измерений зондом и рассчитываются параметры фильтров для уменьшения погрешности измерений при давлении буферного газа (аргона) P = 0.5--5 мТорр, магнитной индукции B = 0.5--2 кГс, напряженности электрического поля в плазме E = 1--100 В/см и концентрации электронов n = $10^{9}$--$10^{12}$ см$^{-3}$.
AUTHORS
Ойлер А.П., Лизякин Г.Д.
|