НАЗВАНИЕ СТАТЬИ:
Анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления плавающим зондом

СПИСОК АВТОРОВ:
Ойлер А.П., Лизякин Г.Д.

DOI:
https://doi.org/10.33849/2019212

ПОСТУПИЛА В РЕДАКЦИЮ:
22 ноября 2019 г.

ЖУРНАЛ:
Вестник Объединенного института высоких температур

ТОМ:
3

ГОД:
2019

СТРАНИЦЫ:
63-66

РУБРИКА:
Методы экспериментальных исследований и измерений

КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
Вч разряд; плавающий зонд; потенциал плазмы

КОДЫ КЛАССИФИКАТОРОВ:


АННОТАЦИЯ:
В данной работе приводится анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления при помощи плавающего зонда. Анализируется эквивалентная схема измерений, оценивается импеданс слоя объемного заряда вокруг зонда, определяется погрешность измерений зондом и рассчитываются параметры фильтров для уменьшения погрешности измерений при давлении буферного газа (аргона) P = 0.5--5 мТорр, магнитной индукции B = 0.5--2 кГс, напряженности электрического поля в плазме E = 1--100 В/см и концентрации электронов n = $10^{9}$--$10^{12}$ см$^{-3}$.

TITLE:


AUTHORS:


KEYWORDS:


ABSTRACT: