В данной работе приводится анализ возможности измерения потенциала плазмы в высокочастотном разряде низкого давления при помощи плавающего зонда. Анализируется эквивалентная схема измерений, оценивается импеданс слоя объемного заряда вокруг зонда, определяется погрешность измерений зондом и рассчитываются параметры фильтров для уменьшения погрешности измерений при давлении буферного газа (аргона) P = 0.5--5 мТорр, магнитной индукции B = 0.5--2 кГс, напряженности электрического поля в плазме E = 1--100 В/см и концентрации электронов n = $10^{9}$--$10^{12}$ см$^{-3}$.